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微纳器件MEMS/微纳加工微纳器件代工/离子束刻蚀

MEMS微纳热盘代加工

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<p style="margin-top: 1.12em; margin-bottom: 1.12em; color: rgb(0, 0, 0); font-family: tahoma, arial, 宋体, sans-serif; font-size: 14px; white-space: normal; background-color: rgb(255, 255, 255);"><span style="font-family: simhei; font-size: 18px;">MEMS微纳热盘，即微型薄膜加热器，是运用介质薄膜支撑和热隔离，通电发热，达到预定温度。因此可以依据客户要求，可以设计成不同的温度区间，从而达到客户的实际产品需求。</span></p><p style="margin-top: 1.12em; margin-bottom: 1.12em; color: rgb(0, 0, 0); font-family: tahoma, arial, 宋体, sans-serif; font-size: 14px; white-space: normal; background-color: rgb(255, 255, 255);"><span style="font-size: 18px;"> </span></p><p style="margin: 0pt; padding: 0pt; color: rgb(0, 0, 0); font-family: tahoma, arial, 宋体, sans-serif; font-size: 14px; white-space: normal; background-color: rgb(255, 255, 255);"><span style="font-family: simhei; font-size: 18px;"><strong>宽温区微纳热盘：</strong></span></p><p style="margin: 0pt; padding: 0pt; color: rgb(0, 0, 0); font-family: tahoma, arial, 宋体, sans-serif; font-size: 14px; white-space: normal; background-color: rgb(255, 255, 255);"><span style="font-family: simhei; font-size: 18px;">1. 300℃低温区热盘</span></p><p style="margin: 0pt; padding: 0pt; color: rgb(0, 0, 0); font-family: tahoma, arial, 宋体, sans-serif; font-size: 14px; white-space: normal; background-color: rgb(255, 255, 255);"><span style="font-family: simhei; font-size: 18px;">2. 500℃中高温区热盘</span></p><p style="margin: 0pt; padding: 0pt; color: rgb(0, 0, 0); font-family: tahoma, arial, 宋体, sans-serif; font-size: 14px; white-space: normal; background-color: rgb(255, 255, 255);"><span style="font-family: simhei; font-size: 18px;">3. 800℃以上高温区热盘</span></p><p style="margin: 0pt; padding: 0pt; color: rgb(0, 0, 0); font-family: tahoma, arial, 宋体, sans-serif; font-size: 14px; white-space: normal; background-color: rgb(255, 255, 255);"><span style="font-family: simhei; font-size: 18px;">其特性优势为加热功耗较低，热量损耗小，响应时间快，易同其它微电子器件集成。其广泛运用于气体传感器，微热量计，气体流量计，红外光源等产品。<br/><img src="http://pro764880.pic48.websiteonline.cn/upload/ced6.png" width="750" height="750"/></span></p><p><br/></p>

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