MEMS微纳热盘，即微型薄膜加热器，是运用介质薄膜支撑和热隔离，通电发热，达到预定温度。因此可以依据客户要求，可以设计成不同的温度区间，从而达到客户的实际产品需求。

宽温区微纳热盘：

1. 300℃低温区热盘

2. 500℃中高温区热盘

3. 800℃以上高温区热盘

其特性优势为加热功耗较低，热量损耗小，响应时间快，易同其它微电子器件集成。其广泛运用于气体传感器，微热量计，气体流量计，红外光源等产品。